镀膜种类划分情况
2022/08/27
镀膜按类型划分，首先可以分为：干式镀膜和湿式镀膜两种。其中干式镀膜主要有：真空蒸发镀膜、溅射镀膜、真空离子镀膜3种电阻蒸发镀膜（适用于蒸发低熔点材料，如金、银、硫化锌、氟化镁、三氧化二铬等）电子束蒸发镀膜（可蒸发难熔金属，如钼、钨、锗、二氧化硅、氧化铝等）高频感应加热蒸发镀膜（蒸发速率达，蒸发源温度稳定，操作简单，对材料纯度要求较宽。）电弧加热蒸发镀膜（特别适用于熔点高，同时具有一定导电性的材料，如石墨；装置简单，较廉价，缺点是放电产生的微米级颗粒会影响膜的一致性）激光束蒸发镀膜（可蒸发任何高熔点材料）反应蒸发镀膜（蒸镀难熔化合物，如氟化镁、氧化钡、氧化锡等）对向靶溅射：可提高沉积速率，制取磁性铁、镍和其他磁性合金膜磁控溅射：碳硫分析仪在直流二极溅射的基础上，在靶材后面安放了磁钢，使用弧光发电，用于蒸发源。真空离子镀膜可分为：阴极电弧离子镀：提高了沉积速率和膜的质量；还可生成致密均匀，附着力优良的化合物膜。
